作者

张庆堂; 吴坤尧; 龚珍彬; 张斌; 张俊彦

所属部门

先进润滑与防护材料研究发展中心

第二所属部门

固体润滑国家重点实验室

所属课题:

纳米润滑研究组

通讯作者

张俊彦

学科分类

材料科学与物理化学::纳米润滑研究

关键词

环戊二烯 ; 碳基薄膜 ; 力学性能 ; 摩擦学性能 ; cyclopentadiene ; carbon-based film ; mechanical property ; tribological property

刊名

中国表面工程

ISSN号

1007-9289

发表日期

2014

页码

卷27, 期:4, 页:89-94

收录类别

CSCD

资助者

国家自然科学基金(51275508);国家重点基础研究发展计划(973计划) (2013CB632300)

摘要

以环戊二烯为碳源，采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在Si单晶(n-100)面上制备了类金刚石薄膜。采用PEI Tecnai F30　型高分辨透射电镜（HRTEM）和LAMRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜及磨屑的结构进行表征；利用MFT-R4000摩擦磨损试验机、Hysitron Ti-950型原位纳米力学测试系统考察薄膜的摩擦学及力学性能。结果表明：所制备的金刚石薄膜具有富勒烯纳米团簇/非晶复合纳米结构，在磨屑中也出现了这种稳定的片层结构从而起到了良好的减摩作用；并且薄膜表现出优异的力学性能和摩擦学性能：其硬度为26.8 GPa、弹性回复为85%、摩擦因数为0.01。由于这种特殊纳米结构的存在，使得薄膜的力学性能及摩擦学性能显著提高。

语种

中文

影响因子

0.4484

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第二作者单位

引用统计

被引频次[CSCD]:0,  [查看CSCD记录]

内容类型

期刊论文

URI标识

http://ir.licp.ac.cn/handle/362003/7078

专题

固体润滑国家重点实验室_期刊论文

先进润滑与防护材料研究发展中心_期刊论文